2017-05-01 人氣:1104【日本 德國 專利 訴訟申請】侵犯微影技術專利,尼康狀告艾司摩爾、蔡司
2017-04-24 16:16 中時電子報
侵犯微影技術專利,尼康狀告艾司摩爾、蔡司
【記者柯婉琇/綜合外電報導】
日本光學儀器大廠尼康(Nikon)對全球第三大半導體設備廠艾司摩爾(ASML)和德國蔡司公司(Carl Zeiss)提起訴訟,稱該兩家企業非法使用尼康的微影(lithography)技術。
尼康周一發布聲明表示,在未獲尼康的許可下,荷蘭商艾司摩爾與德商蔡司在艾司摩爾賣給全球半導體業的微影系統中使用尼康的專利技術,此為侵犯尼康的專利權。
尼康是全球第八大晶片設備廠,該公司表示已經分別在荷蘭、德國與日本控告艾司摩爾和蔡司侵犯專利。